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高純度氬氣檢測標(biāo)準(zhǔn)是多少


2024.10.15 瀏覽量:248 次

高純度氬氣檢測標(biāo)準(zhǔn)是多少?

隨著科技的發(fā)展,工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究對于高純度氬氣的需求日益增長。作為惰性氣體的一員,氬氣因其化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著不可或缺的作用。然而,為了確保氬氣能夠在特定應(yīng)用中發(fā)揮最佳性能,對其純度的要求也變得越來越高。那么,高純度氬氣的檢測標(biāo)準(zhǔn)究竟是什么呢?

氬氣國家檢測標(biāo)準(zhǔn)

一、氬氣純度的重要性

高純度氬氣主要用于半導(dǎo)體制造、激光技術(shù)、焊接、醫(yī)療及科研等領(lǐng)域。在這些應(yīng)用中,任何微量的雜質(zhì)都可能導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降,甚至造成設(shè)備損壞。因此,嚴(yán)格控制氬氣的純度至關(guān)重要。

二、標(biāo)準(zhǔn)概述

根據(jù)現(xiàn)行的國際標(biāo)準(zhǔn),高純度氬氣的純度至少應(yīng)達(dá)到99.999%,即所謂的“5個(gè)9”的純度標(biāo)準(zhǔn)。這一標(biāo)準(zhǔn)意味著每百萬份氣體中只有1份可能是雜質(zhì)。然而,這僅僅是最低要求,某些特殊應(yīng)用甚至需要更高純度的氬氣。

三、關(guān)鍵檢測指標(biāo)

  • 氧含量:通常要求低于0.5 ppm。
  • 氮含量:同樣要求極低,一般不超過0.1 ppm。
  • 水分含量:需保持在極低水平,一般不超過1 ppm。
  • 碳?xì)浠衔?/strong>:如甲烷,含量要求非常嚴(yán)格,通常不超過0.1 ppm。
  • 其他雜質(zhì):如CO2、CO等,均應(yīng)保持在極低水平。

四、檢測方法

為了準(zhǔn)確測定上述雜質(zhì)的含量,通常采用以下幾種方法:

  • 氣相色譜法(Gas Chromatography, GC):通過色譜柱分離不同的氣體組分,并通過檢測器進(jìn)行定量分析。
  • 質(zhì)譜法(Mass Spectrometry, MS):用于確認(rèn)氣體成分及其濃度。
  • 紅外吸收法(Infrared Absorption):特別適用于檢測水和氧氣的存在。

 

基于市場對高純度氬氣的需求,相應(yīng)的檢測技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)也在不斷進(jìn)步和完善。

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